Курсовая работа: Фізико-технологічні основи одержання чутливих елементів для датчиків газів
2.
Сучасні
датчики
газів, та
методи їх
отримання
2.1
Нові
матеріали та
наноструктури
– перспективна
база
елементів
для датчиків
газів
В
зв’язку з
інтенсивним
розвитком
виробництва
поверхневих
датчиків
газів, досліджуються
придатні для
їх побудови сучасні
напівпровідникові
матеріали та
структури з
якісно
новими
властивостями.
Що
стосується сучасних
матеріалів,
слід
відмітити
перспективність
використання
напівпровідникових
матеріалів
на основі GaN,
вуглецю. Що стосується
нових
структур, тут
слід відмітити
явну
тенденцію в
використанні
так званих
квантово-розмірних
стуктур -
наноструктур.
Особливість
наноструктур
полягає в
тому, що в
таких
структурах
проявляються
так звані
квантоворозмірні
ефекти, які
пов’язані з лінійними
розмірами
елементів
структур. Як
сама назва
нано-
говорить,
один або
більше
лінійних
розмірів
такої
структури
має порядок
нанометрів.
Кількісна
зміна розмірів
структури
призводить
до появи
якісно нових
фізичних
властивостей
– квантових ефектів,
наприклад,
електронний
(дірковий)
газ стає дво-,
одно-, та
нульмірним
що часто
призводить
до більш
виразних
залежностей
між фізичними
параметрами
структури.
Окрім квантових
ефектів
зменшення
лінійних
розмірів призводить
до росту
співвідношення
поверхня/об’єм,
що також може
генерувати
більш
виразні відносні
зміни
параметрів
(наприклад,
провідності)
напівпровідника.
Сукупність
таких
ефектів може
в значній
мірі
підвищити чутливість
датчиків
газів. Нижче
приведено
деякі з
новіших
детекторів
газів.
2.2
Датчики газів
на основі
нових
матеріалів
та наноструктур
Як
було
показано
вище, досить
відомим у якості
матеріалу
які
використовуються
в газовій
детекції є
оксиди металів,
наприклад In2O3.
Їх основна
область
використання-
детекція NOx (NO
та NO2).
Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18 |
