Курсовая работа: Фізико-технологічні основи одержання чутливих елементів для датчиків газів
Висновки
Узагальнюючи
вище сказане,
слід
відмітити
наступне:
1.
Створення
чутливих
датчиків
газів - широкоформатна
задача науки
та техніки,
яка вимагає
поєднання
високотехнологічних
напрямків
фізики,
хімії;
2.
Більшість
сучасних
елементів
датчиків газу
– поверхневі
датчики газу,
принцип дії яких
опирається
на
поверхневих
явищах – зміні
опору
напівпровідника
під впливом
адсорбованого
газу (найбільш
поширеним
при цьому є
використання
в якості
детектуючого
елементу
оксиду олова);
3.
Надзвичайно
важливим є
пошук та
створення
нових,
високої
чистоти
матеріалів
(наприклад, GaN, InN...)
, побудова
конструктивно
нових - нанорозмірних
структур
(наношарів,
нанодротів,
наностовпчиків,
нанокрапок ...),
вдосконалення
технологій
росту даних
структур (з
використанням
процесу
осадження з
газової фази,
МПЕ), обробки
поверхонь, нанесення
контактів;
4.
І хоча при
порівнянні
параметрів
детекторів,
детектори
газу на
новітніх
матеріалах
та
структурах
ще не випереджають
комерційних
(у випадку
детекції
водню та
моноксиду
вуглецю, як
це показано
вище -
діапазони
детекції вже
перетинаються),
майбутнє без
сумніву за
першими.
Тільки
поєднання
високих
технологій
на базі сучасних
фізики та
хімії може
забезпечити
низьку ціну,
малі розміри,
добре
співвідношення
сигнал/шум,
простоту та
надійність
конструкції,
обратимість
реакції на
гази, селективність,
нечутливість
до отруєння,
високу
швидкодію,
сумісність з
електронними
схемами управління,
температурну
та часову
стабільність,
тобто все те,
що ставиться
як вимога до
досконалого
детектору
газу.
Література
1.
Плешков
А.П.
Электрофизические
свойства пленок
Sn2O2 и
гетероструктур
n-Sn2O2/p-Si. Автор.
канд. дис.
Воронеж, -2007, 15 с.
Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18 |
