Курсовая работа: Фізико-технологічні основи одержання чутливих елементів для датчиків газів
|
| Рис. 10.
Схематичне
зображення
послідовності
побудови
округлого
датчику.
Параметри датчику:
розміри
мембрани 500*500 μm,
Si-островки
(діаметер) 300μm,
опір
нагрівника
125Ω, опір
датчику температури
10 kΩ, еталонний
резистор 3 kΩ,
відстань
між електродами
40 μm, довжина
електродів 205
μm. a) фотолітографія
b) локальна
металізаія c)
стартовий
стан d) e)
електромеханічна
гравіровка f)
осадження
оксиду
олова. [5] |
|
|
|
| Рис. 11 а).
Переріз
(схематичний)
високотемпературного
датчику
газу. [5] |
Рис. 11
б).. Cхема
детектора з Pt
датчиком
температури.
Його
геометричні
параметри:
розміри
мембрани 500 * 500 μm,
діаметер кремнієвого
островка Si 300μm,
опір
нагрівника 200
Ω,опір
датчика
температури
75k Ω, опір
референційного
опору 10 kΩ
відстань
між
електродами
80 μm
розміри
електродів 185
μm [5]
|
|
|
|
Рис. 11
в).
Схематичне
зображення
послідовності
побудови датчику
з
платиновим датчиком
температури.
a)
відкрита
пассивація b)
фотолітографія
c) локальна
металізаія d)
стартовий
стан e)
локальна
пассивація f)
пассиваційне
копіювання g)
літографія
другої
сторони та
електромеханічна
гравіровка h)
осадження
оксиду
олова. [5]
|
В
таблиці 1,
дано робочий
діапазон
датчиків газу
Figaro Engineering Inc. (Японія) [4]
та AppliedSensor Inc. [6], які
опираються
на зміні
опору плівки
оксиду олова
при
наявності
газів.
Таблиця.1
| Назва
датчику/виробник |
Вид
газу |
Діапазон
чутливості |
| TGS813 /Figaro Engineering Inc. |
пропан |
500-1000 ppm |
| TGS842 /Figaro Engineering Inc. |
CH4 |
500-10000 ppm |
| TGS821/ Figaro Engineering Inc. |
H2
|
50-1000 ppm |
| TGS203/ Figaro Engineering Inc. |
CO |
50-1000 ppm |
| TGS826 /Figaro Engineering Inc. |
NH4
|
30-300 ppm |
| TGS825/ Figaro Engineering Inc. |
H2S
|
5-100 ppm |
| TGS2104 /Figaro Engineering Inc. |
Вихлопи
бензину |
10-100 ppm |
| TGS2105/Figaro Engineering Inc. |
Вихлопи
дизелю |
0.1-1 ppm |
| TGS822/ Figaro Engineering Inc. |
Пари
алкоголю |
50-5000 ppm |
| TGS830 /Figaro Engineering Inc. |
фреони |
100-3000 ppm |
| IAQ-100 /AppliedSensor Inc. |
CO2 |
350 - 2000 ppm |
|
AS-MLC /AppliedSensor Inc.
|
CO |
0.5 - 500 ppm |
|
AS-MLK /AppliedSensor Inc.
|
CH4 |
Від 0.01
до 4% |
Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18 |
