Курсовая работа: Фізико-технологічні основи одержання чутливих елементів для датчиків газів
|
|
|
|
Рис.35.
Схематичне
зображення
та
фотографія (електронного
мікроскопу)
датчику
газу на основі
нанодротів
з ZnO на SiO2 Si-
субстраті,
та
вольтамперна
характеристика
такого
датчику. [16]
|
Рис.36.
Крива
залежності
чутливості
детектора
на
нанодротів
із SnO2 від
концентрації
NO2 при
температурі
225 °C. [16]
|
В
якості
детектора NO2
було
запропоновано
нанодроти ZnO [16] на
SiO2/Si
субстраті
(Рис. 35).
Ефект
зв’язку
дефектів з
кисневими
вакансіями
дозволяє
здійснити
детекцію
газів. Показано,
що наявність
NO2 змінює
опір сітки з ZnO
нанодротів.
При чому, оптимальною
для детекції
є
температура
225 ОС (Рис.36).
Використання
ж нанодротів
на базі GaN (Рис.37),
дозволило
здійснити
детекцію
водню [17].
Показано, що
водень міняє
опір сітки з
таких
нанодротів,
при чому, наявність
паладієвого
покриття
значно збільшує
чутливість
детектора
(Рис.38)
|
|
|
| Рис.37.
Фото
сканіруючого
мікроскопу GaN
нанодротів. [17] |
Рис.38.
Залежність
опору сітки
з
нанодротів від
концентрації
водню в
повітрі, при
використанні
нанодротів
без та з
паладієвим
покриттям (в
кімнатній
температурі).
Чутливість детекції
при
паладієвому
покритті
значно вища,
як без нього.
[17] |
|
|
|
| Рис.39
Схематичне
зображення
газового
сенсору на
основі
вуглецевих
нанотрубок
(DWCNT) на діелектричній
мембрані. [18] |
Рис.40.Залежність
модуля
трансмісії
нанотрубок
від частоти
електромагнітної
хвилі до
(чорна лінія)
і після (сіра
лінія) адсорбції
газу. [18] |
В [18]
в якості
детектора
азоту
показано
можливість
використання
вуглецевих
нанотрубок.
Вуглецеві
нанотрубки
покривають
тонку
діелектричну
мембрану
(Рис. 39). Принцип
дії даного
детектора базується
на зміні
прозорості -S21
(трансмісії)
системи
нанотрубок
для
високочастотного
діапазону (0-110
ГГц) (Рис.40).
Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18 |
