Дипломная работа: Разработка источников диффузионного легирования для производства кремниевых солнечных элементов
| № образца |
Температура,°С
|
Время диффузии, мин |
Li, мкм
|
xji, мкм
|
Среднее значение xj, мкм
|
| 8 |
950 |
80 |
335 |
1,058 |
1,06 |
| 335 |
1,058 |
| 335 |
1,058 |
| 340 |
1,09 |
| 335 |
1,058 |
| 9 |
980 |
20 |
260 |
0,638 |
0,62 |
| 250 |
0,590 |
| 260 |
0,638 |
| 255 |
0,613 |
| 255 |
0,613 |
| 10 |
40 |
305 |
0,878 |
0,90 |
| 310 |
0,907 |
| 310 |
0,907 |
| 315 |
0,936 |
| 310 |
0,907 |
| 11 |
60 |
350 |
1,156 |
1,16 |
| 355 |
1,189 |
| 350 |
1,156 |
| 350 |
1,156 |
| 350 |
1,156 |
| 12 |
80 |
390 |
1,435 |
1,45 |
| 390 |
1,435 |
| 395 |
1,472 |
| 395 |
1,472 |
| 390 |
1,435 |
Результаты, приведенные в таблице 3.3 можно
представить на графике (рис. 3.3).
Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20, 21, 22 |
